Máy phủ chân không là một thiết bị lắng đọng các lớp màng mỏng bằng cách sử dụng môi trường chân không, và được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực quang học, điện tử và trang trí. Dưới đây là các hướng dẫn và quy trình vận hành máy phủ chân không chung.
1. Kiểm tra và chuẩn bị thiết bị
Kiểm tra hệ thống chân không: đảm bảo rằng bơm chân không, van, đường ống và các kết nối khác là bình thường và không bị rò rỉ, và đảm bảo rằng không có bất thường trong hệ thống chân không.
Nguồn điện và nguồn khí của thiết bị: đảm bảo rằng nguồn điện và nguồn khí được kết nối bình thường và đường ống cung cấp khí không bị rò rỉ.
Kiểm tra vật liệu phủ: đảm bảo rằng vật liệu phủ đã được đặt đúng cách và đáp ứng yêu cầu của quy trình.
2. Khởi động thiết bị
Bật nguồn chính: Nhấn công tắc nguồn chính của thiết bị để khởi động hệ thống điều khiển điện tử của máy phủ chân không.
Khởi động hệ thống chân không: Khởi động bơm chân không trước và bơm chân không chính lần lượt, giảm dần áp suất trong buồng để đạt được độ chân không yêu cầu theo quy trình.
Thiết lập các thông số quy trình: thiết lập thời gian phủ, công suất, lưu lượng khí, nhiệt độ bề mặt và các thông số khác theo yêu cầu của quy trình.
3. Quy trình phủ
Gia nhiệt vật liệu phủ: khởi động thiết bị gia nhiệt (như gia nhiệt bằng điện trở hoặc gia nhiệt bằng chùm electron), để vật liệu phủ bay hơi hoặc phun thành các phân tử hoặc nguyên tử, lắng đọng trên bề mặt của phôi cần phủ.
Kiểm soát khí quyển: Theo yêu cầu của quy trình, thêm khí (như oxy, nitơ, v.v.) để kiểm soát khí quyển của quy trình phủ.
Giám sát thời gian thực: Kiểm tra các thông số của chân không, nhiệt độ, lưu lượng khí, v.v. thông qua hệ thống giám sát để đảm bảo sự ổn định của quy trình.
4. Hoàn thành và tắt máy phủ
Dừng phủ: Sau khi hoàn thành phủ, dừng thiết bị gia nhiệt và cung cấp khí.
Giải phóng chân không: từ từ mở van chân không và dần dần trở lại áp suất khí quyển.
Lấy ra phôi: Sau khi áp suất trong buồng trở lại áp suất bình thường, mở buồng và lấy ra phôi đã được phủ.
5. Bảo trì và bảo dưỡng
Làm sạch buồng chân không: làm sạch bề mặt bên trong của buồng phủ thường xuyên để ngăn ngừa sự tích tụ vật liệu ảnh hưởng đến quy trình.
Kiểm tra bơm chân không và đường ống: kiểm tra điều kiện hoạt động của bơm chân không thường xuyên, thay thế các bộ phận mòn kịp thời và giữ cho hệ thống kín.
Thay thế vật liệu phủ: thay thế hoặc bổ sung vật liệu phủ thường xuyên theo yêu cầu của quy trình.
6. Các vấn đề an toàn
Bảo vệ nhiệt độ cao và điện áp cao: chú ý đến các bộ phận nhiệt độ cao và nguồn điện áp cao của thiết bị trong quá trình hoạt động để tránh tiếp xúc ngẫu nhiên.
An toàn hệ thống chân không: tránh mở buồng chân không đột ngột khi thiết bị đang hoạt động để ngăn ngừa hư hỏng thiết bị hoặc tai nạn.
Các lỗi thường gặp và phương pháp xử lý sự cố
1. Độ chân không không đạt tiêu chuẩn
Hiện tượng hỏng: sau khi bơm chân không khởi động, độ chân không không thể đạt giá trị đặt.
Nguyên nhân có thể:
Các con dấu bị hỏng hoặc lão hóa.
Rò rỉ đường ống kết nối.
Bơm chân không bị hỏng.
Khắc phục:
Kiểm tra và thay thế các con dấu.
Kiểm tra kết nối đường ống và sửa chữa rò rỉ không khí.
Kiểm tra điều kiện làm việc của bơm chân không và bảo trì hoặc thay thế nếu cần thiết.
2. Phun không đều
Hiện tượng lỗi: Độ dày của màng lắng đọng không đều, có đốm hoặc bóng.
Nguyên nhân có thể:
Bề mặt không được cố định chắc chắn.
Mục tiêu phun bị hỏng.
Lưu lượng khí không ổn định.
Xử lý sự cố:
Đảm bảo rằng giá đỡ bề mặt được cố định chắc chắn để tránh rung lắc.
Kiểm tra bề mặt mục tiêu và thay thế nếu cần thiết.
Điều chỉnh lưu lượng khí để đảm bảo nó nằm trong phạm vi đặt.
3. Nguồn điện bất thường
Hiện tượng lỗi: Đèn báo nguồn không sáng hoặc thiết bị không thể khởi động.
Nguyên nhân có thể:
Nguồn điện bị hỏng hoặc phích cắm lỏng lẻo.
Cầu chì bị cháy.
Phương pháp xử lý sự cố:
Kiểm tra phích cắm và kết nối dây nguồn.
Kiểm tra cầu chì và thay thế nếu cần thiết.
4. Tiếng ồn bất thường
Hiện tượng lỗi: Thiết bị phát ra tiếng ồn bất thường trong quá trình hoạt động.
Nguyên nhân có thể:
Bơm chân không không hoạt động bình thường.
Mòn các bộ phận chuyển động hoặc thiếu dầu.
Khắc phục:
Kiểm tra điều kiện hoạt động của bơm chân không, làm sạch hoặc thay thế các bộ phận cần thiết.
Kiểm tra các bộ phận chuyển động, bổ sung dầu hoặc thay thế các bộ phận mòn.
5. Quá nhiệt của mục tiêu phun
Hiện tượng hỏng: Nhiệt độ mục tiêu phun quá cao, có thể dẫn đến hỏng mục tiêu.
Nguyên nhân có thể:
Cài đặt công suất phun quá cao.
Hệ thống làm mát bị hỏng.
Xử lý sự cố:
Điều chỉnh công suất phun để đảm bảo nó nằm trong phạm vi hợp lý.
Kiểm tra hệ thống làm mát để đảm bảo nó hoạt động bình thường.
6. Lỗi hiển thị hoặc bảng điều khiển
Lỗi: Bảng điều khiển không phản hồi hoặc hiển thị không chính xác.
Nguyên nhân có thể:
Dây cáp kết nối lỏng lẻo.
Bảng điều khiển bị hỏng.
Xử lý sự cố:
Kiểm tra dây kết nối để đảm bảo tiếp xúc tốt.
Khởi động lại thiết bị và nếu vấn đề vẫn tiếp diễn, hãy xem xét thay thế bảng điều khiển.
Khuyến nghị bảo trì
Kiểm tra định kỳ: Thiết lập chương trình kiểm tra định kỳ để xác định các vấn đề tiềm ẩn kịp thời.
Đào tạo nhân viên vận hành: Đảm bảo rằng nhân viên vận hành quen thuộc với quy trình vận hành và xử lý sự cố của thiết bị để cải thiện khả năng phản ứng của họ.
Thông qua các phương pháp xử lý sự cố và loại bỏ trên, nhân viên vận hành có thể duy trì và quản lý máy phun chân không hiệu quả hơn để đảm bảo hoạt động bình thường của nó.
