Uma máquina de revestimento a vácuo é um dispositivo que deposita filmes finos por meio de um ambiente de vácuo, e é amplamente utilizada nos campos de óptica, eletrônica e decoração. A seguir estão diretrizes gerais e procedimentos operacionais para máquinas de revestimento a vácuo.
1. Inspeção e preparação do equipamento
Verifique o sistema de vácuo: certifique-se de que a bomba de vácuo, válvulas, tubulações e outras conexões estão normais e sem vazamentos, e garanta que não haja anormalidades no sistema de vácuo.
Fonte de alimentação e gás do equipamento: certifique-se de que a fonte de alimentação e a fonte de gás estão normalmente conectadas e que a tubulação de fornecimento de gás não apresenta vazamentos.
Verifique o material de revestimento: certifique-se de que o material de revestimento foi colocado corretamente e atende aos requisitos do processo.
2. Início do equipamento
Energia principal ligada: Pressione o interruptor principal do equipamento para iniciar o sistema de controle eletrônico da máquina de revestimento a vácuo.
Início do sistema de vácuo: Inicie a bomba de vácuo de pré-evacuação e a bomba de vácuo principal em sequência, reduzindo gradualmente a pressão na câmara para atingir o grau de vácuo exigido pelo processo.
Configuração dos parâmetros do processo: defina o tempo de revestimento, potência, fluxo de gás, temperatura do substrato e outros parâmetros de acordo com os requisitos do processo.
3. Processo de revestimento
Aquecimento do material de revestimento: inicie o dispositivo de aquecimento (como aquecimento por resistência ou aquecimento por feixe de elétrons), para que o material de revestimento evapore ou seja pulverizado em moléculas ou átomos, depositando-se na superfície da peça de trabalho a ser revestida.
Atmosfera de controle: De acordo com os requisitos do processo, adicione gás (como oxigênio, nitrogênio, etc.) para controlar a atmosfera do processo de revestimento.
Monitoramento em tempo real: Verifique os parâmetros de vácuo, temperatura, taxa de fluxo de gás, etc., através do sistema de monitoramento para garantir a estabilidade do processo.
4. Conclusão do revestimento e desligamento
Parar o revestimento: Após a conclusão do revestimento, pare o dispositivo de aquecimento e o fornecimento de gás.
Aliviar o vácuo: abra lentamente a válvula de vácuo e retorne gradualmente à pressão atmosférica.
Retire a peça de trabalho: Após a pressão na câmara retornar à pressão normal, abra a câmara e retire a peça de trabalho revestida.
5. Manutenção e conservação
Limpe a câmara de vácuo: limpe regularmente a parede interna da câmara de revestimento para evitar o acúmulo de materiais que afetem o processo.
Verifique a bomba de vácuo e a tubulação: verifique regularmente a condição de funcionamento da bomba de vácuo, substitua as peças desgastadas a tempo e mantenha o sistema selado.
Substituição de materiais de revestimento: substitua ou reabasteça os materiais de revestimento regularmente de acordo com a demanda do processo.
6. Questões de segurança
Proteção de alta temperatura e alta tensão: preste atenção às partes de alta temperatura e à fonte de alimentação de alta tensão do equipamento durante a operação para evitar contato acidental.
Segurança do sistema de vácuo: evite abrir a câmara de vácuo repentinamente quando o equipamento estiver em funcionamento para evitar danos ao equipamento ou acidentes.
Falhas comuns e métodos de solução de problemas
1. O grau de vácuo não atinge o padrão
Fenômeno de falha: após a bomba de vácuo iniciar, o grau de vácuo não pode atingir o valor definido.
Causas possíveis:
As vedações estão danificadas ou envelhecidas.
Vazamento na tubulação de conexão.
Falha na bomba de vácuo.
Remédio:
Verifique e substitua as vedações.
Verifique as conexões das tubulações e repare vazamentos de ar.
Verifique a condição de trabalho da bomba de vácuo e faça a manutenção ou substitua se necessário.
2. Sputtering desigual
Fenômeno de falha: Espessura desigual do filme depositado, manchas ou sombras.
Causas possíveis:
O substrato não está fixado firmemente.
O alvo de sputtering está danificado.
Fluxo de gás instável.
Solução de problemas:
Certifique-se de que o suporte do substrato está fixado com segurança para evitar oscilações.
Inspecione a superfície alvo e substitua se necessário.
Ajuste a taxa de fluxo de gás para garantir que esteja dentro do intervalo definido.
3. Fonte de alimentação anormal
Fenômeno de falha: O indicador de energia não acende ou o dispositivo não pode ser iniciado.
Causas possíveis:
Falha na fonte de alimentação ou plugue solto.
Fusível queimado.
Método de solução de problemas:
Verifique o plugue de alimentação e as conexões do cabo de alimentação.
Verifique o fusível e substitua se necessário.
4. Ruído anormal
Fenômeno de falha: O equipamento faz ruído anormal durante a operação.
Causas possíveis:
A bomba de vácuo não está funcionando normalmente.
Desgaste de peças móveis ou falta de óleo.
Remédio:
Verifique a condição de operação da bomba de vácuo, limpe ou substitua as peças necessárias.
Verifique as peças móveis, reabasteça o óleo ou substitua as peças desgastadas.
5. Superaquecimento do alvo de sputtering
Fenômeno de falha: A temperatura do alvo de sputtering está muito alta, o que pode levar a danos ao alvo.
Causa possível:
Configuração de potência de sputtering muito alta.
Falha no sistema de resfriamento.
Solução de problemas:
Ajuste a potência de sputtering para garantir que esteja dentro de um intervalo razoável.
Verifique o sistema de resfriamento para garantir que esteja funcionando corretamente.
6. Falha no display ou painel de controle
Falha: O painel de controle não responde ou exibe incorretamente.
Causas possíveis:
Cabo de conexão solto.
Mau funcionamento do painel de controle.
Solução de problemas:
Verifique os fios de conexão para garantir um bom contato.
Reinicie a unidade e, se o problema persistir, considere substituir o painel de controle.
Recomendações de manutenção
Inspeções regulares: Estabeleça um programa de inspeção regular para identificar problemas potenciais em tempo hábil.
Treine os operadores: Certifique-se de que os operadores estão familiarizados com a operação do equipamento e os procedimentos de solução de problemas para melhorar sua capacidade de resposta.
Através dos métodos de solução de problemas e eliminação acima, os operadores podem manter e gerenciar mais efetivamente a máquina de sputtering a vácuo para garantir seu funcionamento normal.
