真空コーティング機は、真空環境を利用して薄膜を堆積させる装置であり、光学、電子、装飾の分野で広く使用されています。以下は一般的な真空コーティング機のガイドラインと操作手順です。
1. 機器の点検と準備
真空システムの確認: 真空ポンプ、バルブ、パイプライン、その他の接続が正常で漏れがないことを確認し、真空システムに異常がないことを確認します。
機器の電源供給とガス源: 電源供給とガス源が正常に接続されていること、ガス供給パイプラインに漏れがないことを確認します。
コーティング材料の確認: コーティング材料が正しく配置され、プロセス要件を満たしていることを確認します。
2. 機器の起動
メイン電源オン: 機器のメイン電源スイッチを押して、真空コーティング機の電子制御システムを起動します。
真空システムの起動: 予備排気真空ポンプとメイン真空ポンプを順に起動し、チャンバー内の圧力を徐々に低下させ、プロセスで要求される真空度に到達します。
プロセスパラメータの設定: プロセス要件に従って、コーティング時間、電力、ガス流量、基板温度などのパラメータを設定します。
3. コーティングプロセス
コーティング材料の加熱: 加熱装置（抵抗加熱や電子ビーム加熱など）を起動し、コーティング材料を蒸発またはスパッタリングして分子や原子にし、コーティングされるワークピースの表面に堆積させます。
雰囲気の制御: プロセス要件に応じて、酸素、窒素などのガスを追加し、コーティングプロセスの雰囲気を制御します。
リアルタイムモニタリング: モニタリングシステムを通じて真空、温度、ガス流量などのパラメータを確認し、プロセスの安定性を確保します。
4. コーティングの完了とシャットダウン
コーティングの停止: コーティングが完了したら、加熱装置とガス供給を停止します。
真空の解放: 真空バルブをゆっくりと開き、徐々に大気圧に戻します。
ワークピースの取り出し: チャンバー内の圧力が通常の圧力に戻ったら、チャンバーを開けてコーティングされたワークピースを取り出します。
5. メンテナンスと保守
真空チャンバーの清掃: コーティングチャンバーの内壁を定期的に清掃し、材料の蓄積がプロセスに影響を与えないようにします。
真空ポンプとパイプラインの確認: 真空ポンプの作動状態を定期的に確認し、摩耗部品を適時に交換し、システムを密閉状態に保ちます。
コーティング材料の交換: プロセスの需要に応じて、コーティング材料を定期的に交換または補充します。
6. 安全事項
高温および高電圧保護: 運転中に装置の高温部品および高電圧電源に注意し、誤って接触しないようにします。
真空システムの安全性: 装置が運転中に真空チャンバーを突然開けることを避け、装置の損傷や事故を防ぎます。
一般的な故障とトラブルシューティング方法
1. 真空度が基準に達しない
故障現象: 真空ポンプが起動した後、真空度が設定値に達しません。
考えられる原因:
シールが損傷しているか、老朽化しています。
接続配管の漏れ。
真空ポンプの故障。
対策:
シールを確認し、交換します。
配管接続を確認し、空気漏れを修理します。
真空ポンプの作動状態を確認し、必要に応じてメンテナンスまたは交換を行います。
2. スパッタリングの不均一
故障現象: 堆積膜の厚さが不均一で、斑点や影があります。
考えられる原因:
基板がしっかりと固定されていません。
スパッタリングターゲットが損傷しています。
ガス流量が不安定です。
トラブルシューティング:
基板の固定具がしっかりと固定されていることを確認し、揺れを防ぎます。
ターゲット表面を点検し、必要に応じて交換します。
ガス流量を調整し、設定範囲内にあることを確認します。
3. 異常な電源供給
故障現象: 電源インジケーターが点灯しない、または装置が起動しない。
考えられる原因:
電源供給の故障またはプラグの緩み。
ヒューズが切れています。
トラブルシューティング方法:
電源プラグと電源コードの接続を確認します。
ヒューズを確認し、必要に応じて交換します。
4. 異常な騒音
故障現象: 装置が運転中に異常な音を立てます。
考えられる原因:
真空ポンプが正常に作動していません。
可動部品の摩耗または油の不足。
対策:
真空ポンプの作動状態を確認し、必要な部品を清掃または交換します。
可動部品を確認し、油を補充するか摩耗した部品を交換します。
5. スパッタリングターゲットの過熱
故障現象: スパッタリングターゲットの温度が高すぎると、ターゲットが損傷する可能性があります。
考えられる原因:
スパッタリング電力設定が高すぎます。
冷却システムの故障。
トラブルシューティング:
スパッタリング電力を調整し、合理的な範囲内にあることを確認します。
冷却システムを確認し、正常に機能していることを確認します。
6. ディスプレイまたはコントロールパネルの故障
故障: コントロールパネルが反応しないか、表示が不正確です。
考えられる原因:
接続ケーブルが緩んでいます。
コントロールパネルの故障。
トラブルシューティング:
接続ワイヤーを確認し、良好な接触を確保します。
ユニットを再起動し、問題が解決しない場合は、コントロールパネルの交換を検討します。
メンテナンスの推奨事項
定期点検: 定期点検プログラムを確立し、潜在的な問題をタイムリーに特定します。
オペレーターの訓練: オペレーターが機器の操作とトラブルシューティング手順に精通し、対応能力を向上させることを確認します。
上記のトラブルシューティングと排除方法を通じて、オペレーターは真空スパッタリング機をより効果的に維持および管理し、その正常な運転を確保できます。
