Una máquina de recubrimiento al vacío es un dispositivo que deposita películas delgadas mediante un entorno de vacío, y se utiliza ampliamente en los campos de la óptica, la electrónica y la decoración. A continuación se presentan las pautas generales y los procedimientos operativos de la máquina de recubrimiento al vacío.
1. Inspección y preparación del equipo
Verifique el sistema de vacío: asegúrese de que la bomba de vacío, las válvulas, las tuberías y otras conexiones estén normales y sin fugas, y asegúrese de que no haya anomalías en el sistema de vacío.
Suministro de energía y fuente de gas del equipo: asegúrese de que el suministro de energía y la fuente de gas estén conectados normalmente y que la tubería de suministro de gas no tenga fugas.
Verifique el material de recubrimiento: asegúrese de que el material de recubrimiento se haya colocado correctamente y cumpla con los requisitos del proceso.
2. Puesta en marcha del equipo
Encendido principal: Presione el interruptor de encendido principal del equipo para iniciar el sistema de control electrónico de la máquina de recubrimiento al vacío.
Inicio del sistema de vacío: Inicie la bomba de vacío de pre-evacuación y la bomba de vacío principal en orden, reduciendo gradualmente la presión en la cámara para alcanzar el grado de vacío requerido por el proceso.
Configuración de parámetros del proceso: configure el tiempo de recubrimiento, la potencia, el flujo de gas, la temperatura del sustrato y otros parámetros según los requisitos del proceso.
3. Proceso de recubrimiento
Calentamiento del material de recubrimiento: inicie el dispositivo de calentamiento (como calentamiento por resistencia o calentamiento por haz de electrones), de modo que el material de recubrimiento se evapore o pulverice en moléculas o átomos, depositándose en la superficie de la pieza de trabajo a recubrir.
Controlar la atmósfera: Según los requisitos del proceso, agregue gas (como oxígeno, nitrógeno, etc.) para controlar la atmósfera del proceso de recubrimiento.
Monitoreo en tiempo real: Verifique los parámetros de vacío, temperatura, tasa de flujo de gas, etc. a través del sistema de monitoreo para asegurar la estabilidad del proceso.
4. Finalización y apagado del recubrimiento
Detener el recubrimiento: Después de completar el recubrimiento, detenga el dispositivo de calentamiento y el suministro de gas.
Aliviar el vacío: abra lentamente la válvula de vacío y regrese gradualmente a la presión atmosférica.
Retire la pieza de trabajo: Después de que la presión en la cámara regrese a la presión normal, abra la cámara y retire la pieza de trabajo recubierta.
5. Mantenimiento y conservación
Limpieza de la cámara de vacío: limpie regularmente la pared interior de la cámara de recubrimiento para evitar la acumulación de materiales que afecten el proceso.
Verifique la bomba de vacío y la tubería: revise regularmente el estado de funcionamiento de la bomba de vacío, reemplace las piezas desgastadas a tiempo y mantenga el sistema sellado.
Reemplazo de materiales de recubrimiento: reemplace o reponga los materiales de recubrimiento regularmente según la demanda del proceso.
6. Asuntos de seguridad
Protección de alta temperatura y alto voltaje: preste atención a las partes de alta temperatura y al suministro de energía de alto voltaje del equipo durante la operación para evitar el contacto accidental.
Seguridad del sistema de vacío: evite abrir la cámara de vacío repentinamente cuando el equipo esté en funcionamiento para evitar daños al equipo o accidentes.
Fallos comunes y métodos de solución de problemas
1. El grado de vacío no alcanza el estándar
Fenómeno de falla: después de que la bomba de vacío arranca, el grado de vacío no puede alcanzar el valor establecido.
Posibles causas:
Los sellos están dañados o envejecidos.
Fuga en la tubería de conexión.
Fallo de la bomba de vacío.
Remedio:
Verifique y reemplace los sellos.
Verifique las conexiones de las tuberías y repare las fugas de aire.
Verifique el estado de funcionamiento de la bomba de vacío y mantenga o reemplace si es necesario.
2. Pulverización desigual
Fenómeno de falla: Espesor desigual de la película depositada, manchas o sombras.
Posibles causas:
El sustrato no está fijado firmemente.
El objetivo de pulverización está dañado.
Flujo de gas inestable.
Solución de problemas:
Asegúrese de que el soporte del sustrato esté firmemente fijado para evitar tambaleos.
Inspeccione la superficie del objetivo y reemplácelo si es necesario.
Ajuste la tasa de flujo de gas para asegurarse de que esté dentro del rango establecido.
3. Suministro de energía anormal
Fenómeno de falla: El indicador de energía no se enciende o el dispositivo no se puede iniciar.
Posibles causas:
Fallo de suministro de energía o enchufe suelto.
Fusible fundido.
Método de solución de problemas:
Verifique el enchufe de alimentación y las conexiones del cable de alimentación.
Verifique el fusible y reemplácelo si es necesario.
4. Ruido anormal
Fenómeno de falla: El equipo hace un ruido anormal durante la operación.
Posibles causas:
La bomba de vacío no funciona normalmente.
Desgaste de las partes móviles o falta de aceite.
Remedio:
Verifique el estado operativo de la bomba de vacío, limpie o reemplace las partes necesarias.
Verifique las partes móviles, reponga aceite o reemplace las partes desgastadas.
5. Sobrecalentamiento del objetivo de pulverización
Fenómeno de falla: La temperatura del objetivo de pulverización es demasiado alta, lo que puede llevar a daños en el objetivo.
Causa posible:
Ajuste de potencia de pulverización demasiado alto.
Fallo del sistema de enfriamiento.
Solución de problemas:
Ajuste la potencia de pulverización para asegurarse de que esté dentro de un rango razonable.
Verifique el sistema de enfriamiento para asegurarse de que funcione correctamente.
6. Falla de la pantalla o del panel de control
Falla: El panel de control no responde o muestra incorrectamente.
Posibles causas:
Cable de conexión suelto.
Mal funcionamiento del panel de control.
Solución de problemas:
Verifique los cables de conexión para asegurar un buen contacto.
Reinicie la unidad y si el problema persiste, considere reemplazar el panel de control.
Recomendaciones de mantenimiento
Inspecciones regulares: Establezca un programa de inspección regular para identificar problemas potenciales de manera oportuna.
Entrene a los operadores: Asegúrese de que los operadores estén familiarizados con la operación del equipo y los procedimientos de solución de problemas para mejorar su capacidad de respuesta.
A través de los métodos de solución de problemas y eliminación anteriores, los operadores pueden mantener y gestionar de manera más efectiva la máquina de pulverización al vacío para asegurar su funcionamiento normal.
