Bir vakum kaplama makinesi, ince filmleri vakum ortamı aracılığıyla biriktiren bir cihazdır ve optik, elektronik ve dekorasyon alanlarında yaygın olarak kullanılır. Aşağıda genel vakum kaplama makinesi yönergeleri ve işletim prosedürleri bulunmaktadır.
1. Ekipman denetimi ve hazırlık
Vakum sistemini kontrol edin: Vakum pompası, vanalar, boru hatları ve diğer bağlantıların normal ve sızdırmaz olduğundan emin olun ve vakum sisteminde anormallik olmadığını kontrol edin.
Ekipman güç kaynağı ve gaz kaynağı: Güç kaynağı ve gaz kaynağının normal şekilde bağlı olduğundan ve gaz tedarik boru hattının sızdırmaz olduğundan emin olun.
Kaplama malzemesini kontrol edin: Kaplama malzemesinin doğru yerleştirildiğinden ve süreç gereksinimlerini karşıladığından emin olun.
2. Ekipman başlatma
Ana güç açık: Ekipmanın ana güç düğmesine basarak vakum kaplama makinesinin elektronik kontrol sistemini başlatın.
Vakum sistemi başlatma: Ön vakum pompasını ve ana vakum pompasını sırayla başlatın, odadaki basıncı kademeli olarak azaltarak sürecin gerektirdiği vakum derecesine ulaşın.
Süreç parametrelerini ayarlama: Kaplama süresi, güç, gaz akışı, substrat sıcaklığı ve diğer parametreleri süreç gereksinimlerine göre ayarlayın.
3. Kaplama süreci
Kaplama malzemesini ısıtma: Isıtma cihazını (direnç ısıtma veya elektron ışını ısıtma gibi) başlatın, böylece kaplama malzemesi buharlaşır veya moleküller veya atomlar halinde püskürtülür, kaplanacak iş parçasının yüzeyine birikir.
Atmosferi kontrol etme: Süreç gereksinimlerine göre, kaplama sürecinin atmosferini kontrol etmek için gaz (oksijen, azot vb.) ekleyin.
Gerçek zamanlı izleme: Sürecin istikrarını sağlamak için izleme sistemi aracılığıyla vakum, sıcaklık, gaz akış hızı vb. parametreleri kontrol edin.
4. Kaplama tamamlanması ve kapanış
Kaplamayı durdurun: Kaplama tamamlandıktan sonra ısıtma cihazını ve gaz kaynağını durdurun.
Vakumu rahatlatın: Vakum valfini yavaşça açın ve kademeli olarak atmosfer basıncına geri dönün.
İş parçasını çıkarın: Odadaki basınç normal basınca döndüğünde, odayı açın ve kaplanmış iş parçasını çıkarın.
5. Bakım ve onarım
Vakum odasını temizleyin: Kaplama odasının iç duvarını düzenli olarak temizleyin, malzeme birikiminin süreci etkilemesini önleyin.
Vakum pompasını ve boru hattını kontrol edin: Vakum pompasının çalışma durumunu düzenli olarak kontrol edin, aşınan parçaları zamanında değiştirin ve sistemi sızdırmaz tutun.
Kaplama malzemelerinin değiştirilmesi: Kaplama malzemelerini süreç talebine göre düzenli olarak değiştirin veya tamamlayın.
6. Güvenlik konuları
Yüksek sıcaklık ve yüksek voltaj koruması: Çalışma sırasında ekipmanın yüksek sıcaklık parçalarına ve yüksek voltaj güç kaynağına dikkat edin, kazara temas etmeyin.
Vakum sistemi güvenliği: Ekipman çalışırken vakum odasını aniden açmaktan kaçının, ekipmanın zarar görmesini veya kazaları önleyin.
Yaygın arızalar ve arıza giderme yöntemleri
1. Vakum derecesi standartlara ulaşmıyor
Arıza olayı: Vakum pompası çalıştıktan sonra vakum derecesi ayarlanan değere ulaşamıyor.
Olası nedenler:
Contalar zarar görmüş veya yaşlanmış.
Bağlantı borusu sızıntısı.
Vakum pompası arızası.
Çözüm:
Contaları kontrol edin ve değiştirin.
Boru bağlantılarını kontrol edin ve hava sızıntılarını onarın.
Vakum pompasının çalışma durumunu kontrol edin ve gerekirse bakım yapın veya değiştirin.
2. Düzensiz sputtering
Arıza olayı: Kaplanan filmin kalınlığı düzensiz, lekeler veya gölgeler var.
Olası nedenler:
Substrat sağlam bir şekilde sabitlenmemiş.
Sputtering hedefi zarar görmüş.
Kararsız gaz akışı.
Arıza giderme:
Substrat fikstürünün sallanmayı önlemek için güvenli bir şekilde sabitlendiğinden emin olun.
Hedef yüzeyini inceleyin ve gerekirse değiştirin.
Gaz akış hızını ayarlayın ve ayarlanan aralıkta olduğundan emin olun.
3. Anormal güç kaynağı
Arıza olayı: Güç göstergesi yanmıyor veya cihaz başlatılamıyor.
Olası nedenler:
Güç kaynağı arızası veya gevşek fiş.
Sigorta patladı.
Arıza giderme yöntemi:
Güç fişi ve güç kablosu bağlantılarını kontrol edin.
Sigortayı kontrol edin ve gerekirse değiştirin.
4. Anormal ses
Arıza olayı: Ekipman çalışırken anormal ses çıkarıyor.
Olası nedenler:
Vakum pompası normal çalışmıyor.
Hareketli parçaların aşınması veya yağ eksikliği.
Çözüm:
Vakum pompasının çalışma durumunu kontrol edin, gerekli parçaları temizleyin veya değiştirin.
Hareketli parçaları kontrol edin, yağ ekleyin veya aşınmış parçaları değiştirin.
5. Sputtering hedefinin aşırı ısınması
Arıza olayı: Sputtering hedef sıcaklığı çok yüksek, bu da hedefin zarar görmesine neden olabilir.
Olası neden:
Sputtering güç ayarı çok yüksek.
Soğutma sistemi arızası.
Arıza giderme:
Sputtering gücünü ayarlayın ve makul bir aralıkta olduğundan emin olun.
Soğutma sistemini kontrol edin ve düzgün çalıştığından emin olun.
6. Ekran veya kontrol paneli arızası
Arıza: Kontrol paneli yanıt vermiyor veya yanlış görüntülüyor.
Olası nedenler:
Gevşek bağlantı kablosu.
Kontrol paneli arızası.
Arıza giderme:
Bağlantı kablolarını kontrol edin ve iyi temas ettiğinden emin olun.
Üniteyi yeniden başlatın ve sorun devam ederse kontrol panelini değiştirmeyi düşünün.
Bakım Önerileri
Düzenli denetimler: Potansiyel sorunları zamanında tespit etmek için düzenli bir denetim programı oluşturun.
Operatörleri eğitin: Operatörlerin ekipman işletimi ve arıza giderme prosedürlerine aşina olmalarını sağlayın, yanıt verme yeteneklerini artırın.
Yukarıdaki arıza giderme ve ortadan kaldırma yöntemleri sayesinde, operatörler vakum püskürtme makinesini daha etkili bir şekilde bakımını yapabilir ve yönetebilir, normal çalışmasını sağlayabilir.
