คู่มือการใช้เครื่องสปัตเตอร์สุญญากาศและวิธีการแก้ไขปัญหาทั่วไป

เครื่องเคลือบสุญญากาศเป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการเคลือบฟิล์มบางโดยใช้สภาพแวดล้อมสุญญากาศ และถูกใช้อย่างแพร่หลายในด้านออปติก, อิเล็กทรอนิกส์ และการตกแต่ง ต่อไปนี้เป็นแนวทางและขั้นตอนการใช้งานทั่วไปของเครื่องเคลือบสุญญากาศ

การตรวจสอบและการเตรียมอุปกรณ์

ตรวจสอบระบบสุญญากาศ: ตรวจสอบให้แน่ใจว่าปั๊มสุญญากาศ, วาล์ว, ท่อ และการเชื่อมต่ออื่น ๆ เป็นปกติและไม่มีการรั่วไหล และตรวจสอบให้แน่ใจว่าไม่มีความผิดปกติในระบบสุญญากาศ

แหล่งจ่ายไฟและแหล่งแก๊สของอุปกรณ์: ตรวจสอบให้แน่ใจว่าแหล่งจ่ายไฟและแหล่งแก๊สเชื่อมต่ออย่างปกติและท่อส่งแก๊สไม่มีการรั่วไหล

ตรวจสอบวัสดุเคลือบ: ตรวจสอบให้แน่ใจว่าวัสดุเคลือบถูกวางอย่างถูกต้องและตรงตามความต้องการของกระบวนการ

การเริ่มต้นอุปกรณ์

เปิดเครื่องหลัก: กดสวิตช์ไฟหลักของอุปกรณ์เพื่อเริ่มระบบควบคุมอิเล็กทรอนิกส์ของเครื่องเคลือบสุญญากาศ

การเริ่มต้นระบบสุญญากาศ: เริ่มปั๊มสุญญากาศก่อนและปั๊มสุญญากาศหลักตามลำดับ ลดความดันในห้องอย่างค่อยเป็นค่อยไปเพื่อให้ถึงระดับสุญญากาศที่ต้องการตามกระบวนการ

การตั้งค่าพารามิเตอร์กระบวนการ: ตั้งเวลาเคลือบ, กำลังไฟ, การไหลของแก๊ส, อุณหภูมิของวัสดุรองรับ และพารามิเตอร์อื่น ๆ ตามความต้องการของกระบวนการ

กระบวนการเคลือบ

การให้ความร้อนกับวัสดุเคลือบ: เริ่มอุปกรณ์ให้ความร้อน (เช่น การให้ความร้อนด้วยความต้านทานหรือการให้ความร้อนด้วยลำแสงอิเล็กตรอน) เพื่อให้วัสดุเคลือบระเหยหรือพ่นเป็นโมเลกุลหรืออะตอม และเคลือบบนพื้นผิวของชิ้นงานที่ต้องการเคลือบ

ควบคุมบรรยากาศ: ตามความต้องการของกระบวนการ เพิ่มแก๊ส (เช่น ออกซิเจน, ไนโตรเจน ฯลฯ) เพื่อควบคุมบรรยากาศของกระบวนการเคลือบ

การตรวจสอบแบบเรียลไทม์: ตรวจสอบพารามิเตอร์ของสุญญากาศ, อุณหภูมิ, อัตราการไหลของแก๊ส ฯลฯ ผ่านระบบการตรวจสอบเพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการมีเสถียรภาพ

การเคลือบเสร็จสิ้นและปิดเครื่อง

หยุดการเคลือบ: หลังจากการเคลือบเสร็จสิ้น หยุดอุปกรณ์ให้ความร้อนและการจ่ายแก๊ส

ปล่อยสุญญากาศ: เปิดวาล์วสุญญากาศอย่างช้า ๆ และค่อย ๆ กลับสู่ความดันบรรยากาศ

นำชิ้นงานออก: หลังจากความดันในห้องกลับสู่ความดันปกติ เปิดห้องและนำชิ้นงานที่เคลือบออก

การบำรุงรักษาและการดูแลรักษา

ทำความสะอาดห้องสุญญากาศ: ทำความสะอาดผนังด้านในของห้องเคลือบเป็นประจำเพื่อป้องกันการสะสมของวัสดุที่มีผลต่อกระบวนการ

ตรวจสอบปั๊มสุญญากาศและท่อ: ตรวจสอบสภาพการทำงานของปั๊มสุญญากาศเป็นประจำ เปลี่ยนชิ้นส่วนที่สึกหรอทันเวลาและรักษาระบบให้ปิดสนิท

การเปลี่ยนวัสดุเคลือบ: เปลี่ยนหรือเติมวัสดุเคลือบตามความต้องการของกระบวนการ

เรื่องความปลอดภัย

การป้องกันอุณหภูมิสูงและแรงดันสูง: ให้ความสนใจกับชิ้นส่วนที่มีอุณหภูมิสูงและแหล่งจ่ายไฟแรงดันสูงของอุปกรณ์ระหว่างการทำงานเพื่อหลีกเลี่ยงการสัมผัสโดยบังเอิญ

ความปลอดภัยของระบบสุญญากาศ: หลีกเลี่ยงการเปิดห้องสุญญากาศอย่างกะทันหันเมื่ออุปกรณ์กำลังทำงานเพื่อป้องกันความเสียหายต่ออุปกรณ์หรืออุบัติเหตุ

ความผิดปกติทั่วไปและวิธีการแก้ไขปัญหา

ระดับสุญญากาศไม่ถึงมาตรฐาน

ปรากฏการณ์ความล้มเหลว: หลังจากปั๊มสุญญากาศเริ่มทำงาน ระดับสุญญากาศไม่สามารถถึงค่าที่ตั้งไว้ได้

สาเหตุที่เป็นไปได้:

ซีลเสียหายหรือเสื่อมสภาพ

การรั่วไหลของท่อเชื่อมต่อ

ปั๊มสุญญากาศล้มเหลว

วิธีแก้ไข:

ตรวจสอบและเปลี่ยนซีล

ตรวจสอบการเชื่อมต่อท่อและซ่อมแซมการรั่วไหลของอากาศ

ตรวจสอบสภาพการทำงานของปั๊มสุญญากาศและบำรุงรักษาหรือเปลี่ยนหากจำเป็น

การพ่นไม่สม่ำเสมอ

ปรากฏการณ์ความล้มเหลว: ความหนาของฟิล์มที่เคลือบไม่สม่ำเสมอ มีจุดหรือเงา

สาเหตุที่เป็นไปได้:

วัสดุรองรับไม่ได้รับการยึดอย่างแน่นหนา

เป้าหมายการพ่นเสียหาย

การไหลของแก๊สไม่เสถียร

การแก้ไขปัญหา:

ตรวจสอบให้แน่ใจว่าตัวยึดวัสดุรองรับถูกยึดอย่างแน่นหนาเพื่อหลีกเลี่ยงการโยกเยก

ตรวจสอบพื้นผิวเป้าหมายและเปลี่ยนหากจำเป็น

ปรับอัตราการไหลของแก๊สเพื่อให้แน่ใจว่าอยู่ในช่วงที่ตั้งไว้

แหล่งจ่ายไฟผิดปกติ

ปรากฏการณ์ความผิดพลาด: ไฟแสดงสถานะไม่สว่างหรืออุปกรณ์ไม่สามารถเริ่มได้

สาเหตุที่เป็นไปได้:

แหล่งจ่ายไฟล้มเหลวหรือปลั๊กหลวม

ฟิวส์ขาด

วิธีการแก้ไขปัญหา:

ตรวจสอบปลั๊กไฟและการเชื่อมต่อสายไฟ

ตรวจสอบฟิวส์และเปลี่ยนหากจำเป็น

เสียงผิดปกติ

ปรากฏการณ์ความล้มเหลว: อุปกรณ์ทำเสียงผิดปกติระหว่างการทำงาน

สาเหตุที่เป็นไปได้:

ปั๊มสุญญากาศทำงานไม่ปกติ

การสึกหรอของชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหวหรือขาดน้ำมัน

วิธีแก้ไข:

ตรวจสอบสภาพการทำงานของปั๊มสุญญากาศ ทำความสะอาดหรือเปลี่ยนชิ้นส่วนที่จำเป็น

ตรวจสอบชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหว เติมน้ำมันหรือเปลี่ยนชิ้นส่วนที่สึกหรอ

การร้อนเกินไปของเป้าหมายการพ่น

ปรากฏการณ์ความล้มเหลว: อุณหภูมิของเป้าหมายการพ่นสูงเกินไป ซึ่งอาจนำไปสู่ความเสียหายของเป้าหมาย

สาเหตุที่เป็นไปได้:

การตั้งค่ากำลังการพ่นสูงเกินไป

ระบบระบายความร้อนล้มเหลว

การแก้ไขปัญหา:

ปรับกำลังการพ่นเพื่อให้แน่ใจว่าอยู่ในช่วงที่เหมาะสม

ตรวจสอบระบบระบายความร้อนเพื่อให้แน่ใจว่าทำงานได้อย่างถูกต้อง

การแสดงผลหรือแผงควบคุมล้มเหลว

ความผิดพลาด: แผงควบคุมไม่ตอบสนองหรือแสดงผลไม่ถูกต้อง

สาเหตุที่เป็นไปได้:

สายเคเบิลเชื่อมต่อหลวม

แผงควบคุมทำงานผิดปกติ

การแก้ไขปัญหา:

ตรวจสอบสายเชื่อมต่อเพื่อให้แน่ใจว่ามีการติดต่อที่ดี

รีสตาร์ทอุปกรณ์และหากปัญหายังคงอยู่ ให้พิจารณาเปลี่ยนแผงควบคุม

คำแนะนำการบำรุงรักษา

การตรวจสอบเป็นประจำ: จัดทำโปรแกรมการตรวจสอบเป็นประจำเพื่อระบุปัญหาที่อาจเกิดขึ้นได้ทันเวลา

ฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน: ตรวจสอบให้แน่ใจว่าผู้ปฏิบัติงานคุ้นเคยกับการใช้งานอุปกรณ์และขั้นตอนการแก้ไขปัญหาเพื่อปรับปรุงความสามารถในการตอบสนอง

ผ่านวิธีการแก้ไขปัญหาและการกำจัดข้างต้น ผู้ปฏิบัติงานสามารถบำรุงรักษาและจัดการเครื่องพ่นสุญญากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้นเพื่อให้แน่ใจว่าการทำงานเป็นปกติ