Una macchina di rivestimento sottovuoto è un dispositivo che deposita film sottili mediante un ambiente sottovuoto ed è ampiamente utilizzata nei campi dell'ottica, dell'elettronica e della decorazione. Di seguito sono riportate le linee guida generali e le procedure operative per la macchina di rivestimento sottovuoto.
1. Ispezione e preparazione dell'attrezzatura
Controllare il sistema a vuoto: assicurarsi che la pompa a vuoto, le valvole, le tubazioni e altre connessioni siano normali e senza perdite, e garantire che non vi siano anomalie nel sistema a vuoto.
Alimentazione dell'attrezzatura e fonte di gas: assicurarsi che l'alimentazione e la fonte di gas siano normalmente collegate e che la tubazione di alimentazione del gas non abbia perdite.
Controllare il materiale di rivestimento: assicurarsi che il materiale di rivestimento sia stato posizionato correttamente e soddisfi i requisiti del processo.
2. Avvio dell'attrezzatura
Accensione principale: Premere l'interruttore principale dell'apparecchiatura per avviare il sistema di controllo elettronico della macchina di rivestimento sottovuoto.
Avvio del sistema a vuoto: Avviare la pompa di pre-evacuazione e la pompa principale del vuoto in successione, riducendo gradualmente la pressione nella camera per raggiungere il grado di vuoto richiesto dal processo.
Impostazione dei parametri di processo: impostare il tempo di rivestimento, la potenza, il flusso di gas, la temperatura del substrato e altri parametri secondo i requisiti del processo.
3. Processo di rivestimento
Riscaldamento del materiale di rivestimento: avviare il dispositivo di riscaldamento (come il riscaldamento a resistenza o il riscaldamento a fascio di elettroni), in modo che il materiale di rivestimento evapori o sputtering in molecole o atomi, depositati sulla superficie del pezzo da rivestire.
Controllare l'atmosfera: Secondo i requisiti del processo, aggiungere gas (come ossigeno, azoto, ecc.) per controllare l'atmosfera del processo di rivestimento.
Monitoraggio in tempo reale: Controllare i parametri di vuoto, temperatura, flusso di gas, ecc. attraverso il sistema di monitoraggio per garantire la stabilità del processo.
4. Completamento del rivestimento e spegnimento
Interrompere il rivestimento: Dopo il completamento del rivestimento, interrompere il dispositivo di riscaldamento e l'alimentazione del gas.
Rilasciare il vuoto: aprire lentamente la valvola del vuoto e tornare gradualmente alla pressione atmosferica.
Rimuovere il pezzo: Dopo che la pressione nella camera è tornata alla pressione normale, aprire la camera e rimuovere il pezzo rivestito.
5. Manutenzione e cura
Pulire la camera a vuoto: pulire regolarmente la parete interna della camera di rivestimento per prevenire l'accumulo di materiali che influenzano il processo.
Controllare la pompa a vuoto e la tubazione: controllare regolarmente le condizioni di funzionamento della pompa a vuoto, sostituire le parti usurate in tempo e mantenere il sistema sigillato.
Sostituzione dei materiali di rivestimento: sostituire o rifornire regolarmente i materiali di rivestimento secondo la domanda del processo.
6. Questioni di sicurezza
Protezione ad alta temperatura e alta tensione: prestare attenzione alle parti ad alta temperatura e all'alimentazione ad alta tensione dell'attrezzatura durante il funzionamento per evitare contatti accidentali.
Sicurezza del sistema a vuoto: evitare di aprire improvvisamente la camera a vuoto quando l'attrezzatura è in funzione per prevenire danni all'attrezzatura o incidenti.
Guasti comuni e metodi di risoluzione dei problemi
1. Il grado di vuoto non raggiunge lo standard
Fenomeno di guasto: dopo l'avvio della pompa a vuoto, il grado di vuoto non può raggiungere il valore impostato.
Cause possibili:
Le guarnizioni sono danneggiate o invecchiate.
Perdita di tubazioni di collegamento.
Guasto della pompa a vuoto.
Rimedio:
Controllare e sostituire le guarnizioni.
Controllare i collegamenti delle tubazioni e riparare le perdite d'aria.
Controllare le condizioni di lavoro della pompa a vuoto e mantenere o sostituire se necessario.
2. Sputtering non uniforme
Fenomeno di guasto: Spessore non uniforme del film depositato, macchie o ombre.
Cause possibili:
Il substrato non è fissato saldamente.
Il bersaglio di sputtering è danneggiato.
Flusso di gas instabile.
Risoluzione dei problemi:
Assicurarsi che il supporto del substrato sia fissato saldamente per evitare oscillazioni.
Ispezionare la superficie del bersaglio e sostituire se necessario.
Regolare il flusso di gas per assicurarsi che sia entro l'intervallo impostato.
3. Alimentazione anomala
Fenomeno di guasto: L'indicatore di alimentazione non si accende o il dispositivo non può essere avviato.
Cause possibili:
Guasto dell'alimentazione o spina allentata.
Fusibile bruciato.
Metodo di risoluzione dei problemi:
Controllare la spina di alimentazione e le connessioni del cavo di alimentazione.
Controllare il fusibile e sostituire se necessario.
4. Rumore anomalo
Fenomeno di guasto: L'attrezzatura emette rumori anomali durante il funzionamento.
Cause possibili:
La pompa a vuoto non funziona normalmente.
Usura delle parti mobili o mancanza di olio.
Rimedio:
Controllare le condizioni operative della pompa a vuoto, pulire o sostituire le parti necessarie.
Controllare le parti mobili, rifornire di olio o sostituire le parti usurate.
5. Surriscaldamento del bersaglio di sputtering
Fenomeno di guasto: La temperatura del bersaglio di sputtering è troppo alta, il che può portare a danni al bersaglio.
Causa possibile:
Impostazione della potenza di sputtering troppo alta.
Guasto del sistema di raffreddamento.
Risoluzione dei problemi:
Regolare la potenza di sputtering per assicurarsi che sia entro un intervallo ragionevole.
Controllare il sistema di raffreddamento per assicurarsi che funzioni correttamente.
6. Guasto del display o del pannello di controllo
Guasto: Il pannello di controllo non risponde o visualizza in modo errato.
Cause possibili:
Cavo di connessione allentato.
Malfunzionamento del pannello di controllo.
Risoluzione dei problemi:
Controllare i fili di collegamento per garantire un buon contatto.
Riavviare l'unità e se il problema persiste, considerare la sostituzione del pannello di controllo.
Raccomandazioni per la manutenzione
Ispezioni regolari: Stabilire un programma di ispezione regolare per identificare tempestivamente i potenziali problemi.
Formare gli operatori: Assicurarsi che gli operatori siano familiari con il funzionamento dell'attrezzatura e le procedure di risoluzione dei problemi per migliorare la loro capacità di risposta.
Attraverso i metodi di risoluzione dei problemi e di eliminazione sopra descritti, gli operatori possono mantenere e gestire più efficacemente la macchina di sputtering sottovuoto per garantirne il normale funzionamento.
