Alat berat dengan lapisan vakum merupakan alat yang menyimpan lapisan tipis di lingkungan vakum, dan digunakan secara luas di bidang optik, elektronik, dan dekorasi. Berikut adalah panduan umum alat berat dengan lapisan vakum dan prosedur pengoperasiannya.
1. Pemeriksaan dan persiapan peralatan
Periksa sistem vakum: Pastikan pompa vakum, katup, pipa, dan koneksi lainnya normal dan tanpa kebocoran, dan pastikan tidak ada abnormalitas pada sistem vakum.
Catu daya peralatan dan sumber gas: Pastikan catu daya dan sumber gas biasanya tersambung dan pipa suplai gas tidak bocor.
Periksa bahan lapisan: Pastikan bahwa material lapisan telah ditempatkan dengan benar dan memenuhi persyaratan proses.
2. Menyalakan peralatan
Daya utama hidup: Tekan sakelar daya utama peralatan untuk menyalakan sistem kontrol elektronik alat berat dengan lapisan vakum.
Sistem vakum start-up: Nyalakan pompa vakum pra-evakuasi dan pompa vakum utama pada gilirannya, kurangi tekanan dalam ruang secara bertahap untuk mencapai tingkat vakum yang diperlukan oleh proses.
Mengatur parameter proses: Mengatur waktu pelapisan, daya, aliran gas, suhu substrat dan parameter lain sesuai dengan persyaratan proses.
Proses pelapisan 3
Memanaskan bahan lapisan: Mulai perangkat pemanas (seperti pemanasan resistansi atau pemanasan sinar elektron), sehingga bahan lapisan menguap atau memercik ke dalam molekul atau atom yang didepositkan pada permukaan bagian kerja yang akan dilapisi.
Atmosfer kontrol: Sesuai dengan kebutuhan proses, tambahkan gas (seperti oksigen, nitrogen, dll.) untuk mengendalikan atmosfer proses pelapisan.
Pemantauan real-time: Periksa parameter vakum, suhu, laju aliran gas, dll. melalui sistem monitoring untuk memastikan kestabilan proses.
4. Penyelesaian lapisan dan pematian
Stop coating (Lapisan berhenti): Setelah lapisan selesai, hentikan suplai perangkat pemanas dan gas.
Lepaskan vakum: Buka perlahan katup vakum dan secara bertahap kembali ke tekanan atmosfer.
Ambil bagian kerja: Setelah tekanan dalam ruang kembali ke tekanan normal, buka ruang dan keluarkan bagian kerja yang telah dilapisi.
5. Perawatan dan pemeliharaan
Bersihkan ruang vakum: Bersihkan dinding bagian dalam ruang lapisan secara teratur untuk mencegah menumpuknya material yang mempengaruhi proses.
Periksa pompa vakum dan pipa: Periksa kondisi pengoperasian pompa vakum secara teratur, ganti komponen aus secara tepat waktu dan jaga sistem tetap ber-seal.
Penggantian material pelapis: Ganti atau lapisan pelindung secara teratur sesuai dengan kebutuhan proses.
6. Keselamatan itu penting
Perlindungan temperatur tinggi dan tegangan tinggi: Perhatikan komponen temperatur tinggi dan catu daya tegangan tinggi peralatan selama pengoperasian untuk menghindari kontak yang tidak disengaja.
Keamanan sistem vakum: Jangan membuka ruang vakum secara tiba-tiba bila peralatan dijalankan untuk mencegah kerusakan pada peralatan atau kecelakaan.
Kerusakan umum dan metode pemecahan masalah
1. Derajat vakum tidak mencapai standar
Fenomena kegagalan: Setelah pompa vakum dijalankan, derajat vakum tidak dapat mencapai nilai yang telah ditentukan.
Kemungkinan penyebab:
Seal rusak atau sudah tua.
Kebocoran pemipaan sambungan.
Kegagalan pompa vakum.
Perbaikan:
Periksa dan ganti seal.
Periksa sambungan pipa dan perbaiki kebocoran udara.
Periksa kondisi kerja pompa vakum dan lakukan perawatan atau ganti bila perlu.
2. Tidak rata
Fenomena kesalahan: Ketebalan tidak merata pada lapisan, titik, atau bayangan yang didepositikan.
Kemungkinan penyebab:
Substrat tidak ditetapkan dengan kuat.
Target yang Spar rusak.
Aliran gas tidak stabil.
Pemecahan masalah:
Pastikan penahan alas terpasang dengan kencang untuk menghindari bergoyang.
Periksa permukaan target dan ganti jika perlu.
Sesuaikan laju aliran gas untuk memastikan laju tersebut berada dalam rentang yang ditetapkan.
3. Catu daya tidak normal
Fenomena kesalahan: Indikator daya tidak menyala atau perangkat tidak dapat dinyalakan.
Kemungkinan penyebab:
Gangguan catu daya atau konektor kendur.
Sekring putus.
Metode pemecahan masalah:
Periksa steker daya dan sambungan kabel daya.
Periksa sekring dan ganti jika perlu.
4. Derau abnormal
Fenomena kesalahan: Peralatan menimbulkan noise abnormal selama pengoperasian.
Kemungkinan penyebab:
Pompa vakum tidak beroperasi dengan normal.
Keausan komponen bergerak atau kurang minyak.
Perbaikan:
Periksa kondisi pengoperasian pompa vakum, bersihkan atau ganti komponen yang diperlukan.
Periksa bagian-bagian yang bergerak, isi ulang oli atau ganti komponen yang aus.
5. Panas berlebih pada target yang terkibar
Fenomena kegagalan: Suhu target yang melahirkannya terlalu tinggi, yang mungkin menyebabkan kerusakan akibat target.
Kemungkinan penyebab:
Setelan daya yang memercik terlalu tinggi.
Kegagalan sistem pendinginan.
Pemecahan masalah:
Setel daya meludah untuk memastikan berada dalam jarak yang wajar.
Periksa sistem pendinginan untuk memastikan sistem berfungsi dengan benar.
6. Tampilan atau panel kontrol gagal
Kerusakan: Panel kontrol tidak merespons atau ditampilkan dengan salah.
Kemungkinan penyebab:
Kabel koneksi kendur.
Kegagalan fungsi panel kontrol.
Pemecahan masalah:
Periksa kabel penghubung untuk memastikan kontak yang baik.
Hidupkan ulang unit dan jika masalah berlanjut, pertimbangkan untuk mengganti panel kontrol.
Rekomendasi Perawatan
Pemeriksaan berkala: Menyusun program inspeksi reguler untuk mengidentifikasi potensi masalah secara tepat waktu.
Operator Kereta: Pastikan bahwa operator sudah memahami prosedur pengoperasian peralatan dan pemecahan masalah untuk meningkatkan kemampuan mereka dalam merespons.
Melalui metode pemecahan masalah dan penyingkiran di atas, operator dapat memelihara dan mengelola alat berat dengan menggunakan vakum yang melesunya untuk memastikan operasi normalnya.
