Une machine de revêtement sous vide est un appareil qui dépose des films minces au moyen d'un environnement sous vide, et est largement utilisée dans les domaines de l'optique, de l'électronique et de la décoration. Voici des directives générales et des procédures de fonctionnement pour les machines de revêtement sous vide.
1. Inspection et préparation de l'équipement
Vérifiez le système de vide : assurez-vous que la pompe à vide, les vannes, les tuyaux et autres connexions sont normaux et sans fuite, et assurez-vous qu'il n'y a pas d'anomalie dans le système de vide.
Alimentation électrique et source de gaz de l'équipement : assurez-vous que l'alimentation électrique et la source de gaz sont normalement connectées et que le pipeline d'alimentation en gaz n'a pas de fuite.
Vérifiez le matériau de revêtement : assurez-vous que le matériau de revêtement a été correctement placé et répond aux exigences du processus.
2. Démarrage de l'équipement
Mise sous tension principale : Appuyez sur l'interrupteur principal de l'équipement pour démarrer le système de contrôle électronique de la machine de revêtement sous vide.
Démarrage du système de vide : Démarrez la pompe à vide de pré-évacuation et la pompe à vide principale à tour de rôle, réduisez progressivement la pression dans la chambre pour atteindre le degré de vide requis par le processus.
Paramétrage des paramètres de processus : définissez le temps de revêtement, la puissance, le débit de gaz, la température du substrat et d'autres paramètres selon les exigences du processus.
3. Processus de revêtement
Chauffage du matériau de revêtement : démarrez le dispositif de chauffage (tel que le chauffage par résistance ou le chauffage par faisceau d'électrons), de sorte que le matériau de revêtement s'évapore ou se pulvérise en molécules ou atomes, déposés sur la surface de la pièce à revêtir.
Atmosphère de contrôle : Selon les exigences du processus, ajoutez du gaz (tel que de l'oxygène, de l'azote, etc.) pour contrôler l'atmosphère du processus de revêtement.
Surveillance en temps réel : Vérifiez les paramètres de vide, de température, de débit de gaz, etc. via le système de surveillance pour assurer la stabilité du processus.
4. Achèvement du revêtement et arrêt
Arrêtez le revêtement : Après l'achèvement du revêtement, arrêtez le dispositif de chauffage et l'alimentation en gaz.
Relâchez le vide : ouvrez lentement la vanne à vide et revenez progressivement à la pression atmosphérique.
Retirez la pièce : Après que la pression dans la chambre soit revenue à la pression normale, ouvrez la chambre et retirez la pièce revêtue.
5. Maintenance et entretien
Nettoyez la chambre à vide : nettoyez régulièrement la paroi intérieure de la chambre de revêtement pour éviter l'accumulation de matériaux affectant le processus.
Vérifiez la pompe à vide et le pipeline : vérifiez régulièrement l'état de fonctionnement de la pompe à vide, remplacez les pièces d'usure à temps et maintenez le système scellé.
Remplacement des matériaux de revêtement : remplacez ou complétez les matériaux de revêtement régulièrement selon les besoins du processus.
6. Questions de sécurité
Protection haute température et haute tension : faites attention aux parties à haute température et à l'alimentation haute tension de l'équipement pendant le fonctionnement pour éviter tout contact accidentel.
Sécurité du système de vide : évitez d'ouvrir la chambre à vide soudainement lorsque l'équipement est en fonctionnement pour éviter d'endommager l'équipement ou des accidents.
Défauts courants et méthodes de dépannage
1. Le degré de vide ne répond pas à la norme
Phénomène de panne : après le démarrage de la pompe à vide, le degré de vide ne peut pas atteindre la valeur définie.
Causes possibles :
Les joints sont endommagés ou vieillissants.
Fuite de tuyauterie de connexion.
Panne de la pompe à vide.
Remède :
Vérifiez et remplacez les joints.
Vérifiez les connexions des tuyaux et réparez les fuites d'air.
Vérifiez l'état de fonctionnement de la pompe à vide et entretenez ou remplacez si nécessaire.
2. Pulvérisation inégale
Phénomène de panne : Épaisseur inégale du film déposé, taches ou ombres.
Causes possibles :
Le substrat n'est pas fixé fermement.
La cible de pulvérisation est endommagée.
Débit de gaz instable.
Dépannage :
Assurez-vous que le support du substrat est solidement fixé pour éviter les oscillations.
Inspectez la surface de la cible et remplacez-la si nécessaire.
Ajustez le débit de gaz pour vous assurer qu'il est dans la plage définie.
3. Alimentation électrique anormale
Phénomène de panne : Le voyant d'alimentation ne s'allume pas ou l'appareil ne peut pas être démarré.
Causes possibles :
Panne d'alimentation ou prise lâche.
Fusible grillé.
Méthode de dépannage :
Vérifiez la prise d'alimentation et les connexions du cordon d'alimentation.
Vérifiez le fusible et remplacez-le si nécessaire.
4. Bruit anormal
Phénomène de panne : L'équipement émet un bruit anormal pendant le fonctionnement.
Causes possibles :
La pompe à vide ne fonctionne pas normalement.
Usure des pièces mobiles ou manque d'huile.
Remède :
Vérifiez l'état de fonctionnement de la pompe à vide, nettoyez ou remplacez les pièces nécessaires.
Vérifiez les pièces mobiles, complétez l'huile ou remplacez les pièces usées.
5. Surchauffe de la cible de pulvérisation
Phénomène de panne : La température de la cible de pulvérisation est trop élevée, ce qui peut entraîner des dommages à la cible.
Cause possible :
Réglage de la puissance de pulvérisation trop élevé.
Panne du système de refroidissement.
Dépannage :
Ajustez la puissance de pulvérisation pour vous assurer qu'elle est dans une plage raisonnable.
Vérifiez le système de refroidissement pour vous assurer qu'il fonctionne correctement.
6. Panne d'affichage ou de panneau de contrôle
Panne : Le panneau de contrôle ne répond pas ou affiche incorrectement.
Causes possibles :
Câble de connexion lâche.
Panne du panneau de contrôle.
Dépannage :
Vérifiez les fils de connexion pour assurer un bon contact.
Redémarrez l'unité et si le problème persiste, envisagez de remplacer le panneau de contrôle.
Recommandations de maintenance
Inspections régulières : Établissez un programme d'inspection régulier pour identifier les problèmes potentiels en temps opportun.
Former les opérateurs : Assurez-vous que les opérateurs sont familiers avec le fonctionnement de l'équipement et les procédures de dépannage pour améliorer leur capacité à réagir.
Grâce aux méthodes de dépannage et d'élimination ci-dessus, les opérateurs peuvent plus efficacement entretenir et gérer la machine de pulvérisation sous vide pour assurer son fonctionnement normal.
